蔡司EVO系列掃描電鏡（SEM）是材料科學(xué)、生命科學(xué)和納米技術(shù)領(lǐng)域中至關(guān)重要的高分辨率成像工具。其杰出的成像能力和靈活的操作模式，為科研人員提供了觀察微納結(jié)構(gòu)的強大支持。然而，為確保設(shè)備性能穩(wěn)定并獲得高質(zhì)量的成像結(jié)果，正確使用和規(guī)范操作至關(guān)重要。以下是EVO系列蔡司掃描電鏡的關(guān)鍵使用事項。
 

　　一、樣品制備：成像質(zhì)量的基礎(chǔ)

　　1.導(dǎo)電性處理：對于非導(dǎo)電樣品，需進行噴金導(dǎo)電處理，避免電荷積累導(dǎo)致圖像漂移或放電損傷。導(dǎo)電樣品可直接觀察，但表面需盡量平整。

　　2.樣品尺寸與固定：樣品臺承載直徑通常≤100mm，厚度≤20mm。樣品需用導(dǎo)電膠或雙面膠固定在樣品臺上，脆弱樣品建議使用低粘性膠或機械夾持。

　　3.真空適應(yīng)性：生物樣品需經(jīng)過臨界點干燥或冷凍干燥處理，防止水分在真空環(huán)境下?lián)]發(fā)造成樣品損傷；含揮發(fā)性成分的樣品需密封或避免長時間觀察。

　　二、操作流程：從開機到成像

　　1.設(shè)備啟動

　　開機順序：先啟動電子槍真空系統(tǒng)，再初始化電子束。日常使用前需檢查真空度和電子槍狀態(tài)。

　　2.參數(shù)設(shè)置

　　①加速電壓：常規(guī)觀察選用5-15kV；

　　②工作距離（WD）：5-10mm；

　　③束流密度：根據(jù)樣品導(dǎo)電性調(diào)整，非導(dǎo)電樣品需降低束流避免充電效應(yīng)。

　　3.圖像采集：通過控制軟件調(diào)節(jié)對比度與亮度，選擇掃描速度。拍攝高分辨率圖像時，建議使用低放大倍數(shù)預(yù)覽定位，再逐步放大目標(biāo)區(qū)域。

　　三、維護與安全：延長設(shè)備壽命

　　1.日常維護：每次使用后清潔樣品臺殘留物，定期檢查電子槍燈絲壽命，避免燈絲過熱或斷裂。

　　2.環(huán)境要求：實驗室需保持恒溫（20-25℃）、低濕度（<60%），避免振動和電磁干擾。長時間停機后需進行真空烘烤。

　　3.安全操作：嚴(yán)禁在真空未達標(biāo)時強行進樣，非專業(yè)人員不得調(diào)整高壓電源或電子槍參數(shù)。操作時佩戴防護眼鏡，防止樣品碎屑飛濺。

　　EVO系列掃描電鏡通過精細的操作與規(guī)范的維護，能夠充分發(fā)揮其高分辨率、大景深的優(yōu)勢，為科研人員提供清晰、真實的微觀世界圖像。遵循上述使用事項，不僅能提升成像質(zhì)量，更能確保設(shè)備長期穩(wěn)定運行，是獲得可靠實驗數(shù)據(jù)的關(guān)鍵保障。