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產品簡介
徠卡DM8000M顯微鏡使用安全與操作規范為確保 DM8000M 在長期使用中的安全性與檢測精度，制定了以下操作規范與安全注意事項。
徠卡DM8000M顯微鏡使用安全與操作規范
為確保 DM8000M 在長期使用中的安全性與檢測精度，制定了以下操作規范與安全注意事項。
1. 環境要求
潔凈度：工作區應符合 ISO 4?級以上潔凈室標準，避免灰塵進入光學系統。
溫濕度：溫度控制在 20?±?2?℃，相對濕度 45?±?5?%。溫濕度波動過大可能導致光學元件的熱膨脹，引起焦距漂移。
電源：使用穩壓電源，額定電壓 220?V，頻率 50?Hz，避免電壓波動對 LED 光源壽命產生影響。
2. 操作流程
| 步驟 | 內容 |
|---|---|
| ① 檢查 | 確認機身、載物臺、光源無異常，檢查電源指示燈是否正常。 |
| ② 裝樣 | 使用防靜電手套，輕柔放置晶圓于專用夾具，確保晶圓中心對準載物臺中心。 |
| ③ 軟件設置 | 啟動 Leica LAS，選擇相應的觀察模式與放大倍率，設定掃描區域。 |
| ④ 掃描 | 啟動自動掃描，系統完成圖像采集與拼圖。 |
| ⑤ 分析 | 使用缺陷識別與測量工具，對感興趣區域進行標記與尺寸測量。 |
| ⑥ 保存 | 將圖像、測量數據與報告保存至指定路徑，完成后關閉軟件。 |
| ⑦ 清理 | 關閉光源，取下晶圓，使用無塵布輕拭載物臺與光學元件。 |
3. 安全注意事項
防護：操作時佩戴防靜電手套與防護眼鏡，防止晶圓碎屑或光源意外傷害。
光源防護：LED 光源雖低熱，但長時間開啟仍會產生一定熱量，避免直接用手觸摸光源部件。
緊急停機：儀器配備緊急停止按鈕，出現異常噪音或振動時立即按下，以防機械損傷。
4. 維護保養
光源更換：LED 光源壽命約 20?000?小時，系統會提前提示更換時間。更換時請使用原廠配件。
光學清潔：每月使用專用光學清潔紙輕拭物鏡與目鏡，避免使用酒精或其他溶劑。
機械檢查：每半年檢查滾珠絲杠的潤滑情況，必要時添加專用潤滑油。
5. 培訓要求
所有操作人員必須通過廠家提供的基礎培訓，掌握儀器的基本結構、操作流程與安全規范。培訓合格后方可獨立使用儀器。
遵循上述安全與操作規范，能夠大程度保障 DM8000M 的檢測精度與使用壽命，為半導體生產提供持續、可靠的檢測支持。
徠卡DM8000M顯微鏡使用安全與操作規范